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半導體材料國家工程研究中心
??北京有色研究總院1957年開始硅材料的研究。1958年10月成立了國內第一個硅材料研究室,系統地開展了硅多晶、單晶及其性能測試的研究工作。1965年利用自己的成套技術設計建成了我國第一個硅材料廠————四川峨眉半導體材料廠。后又參與從日本引進全套硅廠的籌備工作,于1966年建立洛陽單晶硅廠。
??1991年11月成立了
半導體材料國家工程研究中心,中心有高級研究員48名,固定資產3億元人民幣。中心在半導體材料單晶生長技術、半導體材料晶片加工技術、半導體材料缺陷的形成機理與消除措施領域開展了深入的研究。并在此基礎上取得了很多開創性的研究成果,在國內處于領先地位。中心建有三條生產線:1.超大規模集成電路用直拉單晶及拋光片的生產線;2.功率器件用區熔硅單晶及晶片生產線;3.光電子器件用Ⅲ-Ⅴ族化合物半導體單晶及晶片的生產線。中心具有單晶生長、切片、磨片、腐蝕、拋光、清洗及檢測工藝;具有高精度的晶體生長、切、磨、拋設備和超凈環境;具有整套置于超凈環境中的測試、清洗、包裝設備;具有相應的純水、氣體和化學試劑等輔助條件和設施。
??? 可向客戶提供以下產品:
??? 1、
φ3" φ8" 直拉硅單晶及拋光片;
??? 2、
φ3"φ4"區熔硅單晶及晶片
??? 3、
φ2"φ3" Ⅲ-Ⅴ族化合物半導體(直拉及水平砷化鎵、磷化鎵、銻化鎵、磷化銦)單晶及晶片。
?? 半導體材料國家工程中心各生產線按照ISO9002系列標準對產品生產到售后服務各個環節進行有效的質量控制,保證實現對顧客所作的一切質量承諾,按顧客要求提供合格的產品。

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